原理：医用低温真空干燥柜是利用降低环境空气压力，让水在低温时就开始沸腾变成水蒸气，从而将水从器械上分离出来
一参数：真空度
由原理得知，实现干燥主要的是真空度。在常温下，器械在纯化水清洗后，表面滞留的纯化水温度一般也有20摄氏度，对照前表，在不加热的情况下，气压在-96kpa时，水就可以沸腾挥发了，所以医用低温真空干燥柜主要的参数是工作仓的真空度，真空度越高，干燥效果越好，所以，追求真空度是干燥柜干燥效果好坏的主要指标。

二参数：温度
液体在挥发的时候会带走剩余未挥发液体的部分热量，所以需要对剩余液体温度进行补偿，另一方面，提高液体的温度后液体蒸发时的真空度也相对降低，更利于液体蒸发，因液体吸热有延时，即使精确的温度通过传递到器械表面液体后也会变得不精确，相对要素真空度而言，温度补偿必不可少，但对温度精度不是很苛刻。所以干燥柜第二主要参数是器械表面液体的温度。
三参数：无油
普通干燥柜为达到真空度往往使用的是有油真空泵，而有油真空泵容易出现回油，从而伤害医疗器械。即使好的过滤器也不能保证100%的过滤效果，更何况，工作一段时间后过滤器效果必然下降，过滤效果更不能保证。特别说明：有油泵真空度略高于无油泵，干燥效果略好于无油泵，出于对器械的保护，推荐使用无油真空泵。